中古 LAM RESEARCH 490B #293829120 を販売中

LAM RESEARCH 490Bは、シリコンおよびガラス基板上の高精度の微細構造を製造するために設計されたウェットケミカルエッチング装置です。活性乾燥ステーションを備えており、エッチング工程中の液体溶液の蒸発および直接接触による水の蓄積および堆積物の汚染を防ぐのに役立ちます。システムは、制御キャビネット、エッチングタンク、および投与ポンプで構成されています。コントロールキャビネットには、エッチプロセスをプログラミングするためのLCDディスプレイと番号付きシンボルキーパッドが含まれています。エッチングタンクは、適切なエッチング除去を確保するためにテーパー底付きステンレス製の容器です。エッチングタンクに接続されている投与ポンプは、規制された量のエッチング液を分配するために使用されます。LAM RESEARCH 490/Bは-40°C〜80°Cの温度でエッチングが可能で、200mmまでの基板加工が可能です。また、表面の均一なエッチングを確保するための7µm精度ノズルや、エッチング後の洗浄のための自動超音波処理機を備えています。また、490Bには高度なプラズマシステムズ技術（APST）モジュールが搭載されており、エッチングの均一性をさらに向上させ、エッチング速度の変動を低減し、エッチング時間をミリ秒以内に制御することができます。さらに、490/Bは、圧力リリーフバルブ、緊急停止ボタン、可聴アラーム、温度センサーなどの複数の安全機能を備えており、最適なエッチング条件を維持し、オペレータの安全を確保します。LAM LAM RESEARCH 490Bエッチングツールは、ポリマー、シリコン、ガラス基板上の高精度マイクロストラクチャーの製造に最適です。