中古 LAM RESEARCH 490 #9399666 を販売中

LAM RESEARCH 490は、高速サイクル時間とスループットの向上を備えた大量生産用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高精度の厚さのエッチングまたはアッシングに最適です。ダイレクトドライブの高速生成モータは、優れた再現性、スループット、歩留まりを提供します。490は、ダウンタイムを最小限に抑え、パフォーマンスを最大化するように構成された非常に高速で信頼性の高いユニットです。LAM RESEARCH 490はプラズマエッチング/アッシング技術を活用し、プラズマチャンバーと石英またはセラミックエッチング/灰マスクを使用しており、DRAM ILDエッチングやMEMS Type Iエッチングなどの用途に最適です。オープンフレーム設計により、工具へのアクセスを最適化し、アルミニウムチャネルを内蔵しており、高速で柔軟な工具からウェーハプラテンボードへの交換が可能です。490は大量生産のために設計されており、サブチャンバー負荷/アンロード、基板トランスファーアーム、自動マスキングなどの高度な基板処理機能により、運用生産性を向上させる理想的なソリューションです。LAM RESEARCH 490には、高度なプロセスモニタリングマシン、強力な真空ツール、自動プラズマチューニングアルゴリズムが搭載されており、一貫したエッチング/灰の品質を保証します。また、基板交換の高速化、基板サイズや形状の広い範囲で、最大の再現性を目指して設計されています。最も困難な基質の均一、高精度のエッチングまたはアッシングのために、490エッチャー/アッシャーは理想的な選択です。LAM RESEARCH 490は、一定のプラズマパラメータ、改善された均一性、およびスループットの向上を備えており、タフエッチングや灰のジョブに最適です。