中古 LAM RESEARCH 490 #9268075 を販売中

LAM RESEARCH 490は、生産と研究のために設計されたプラズマエッチング/アッパー装置です。これは、高度なプロセス制御とタイトなチャンバーの均一性と高スループットを提供します。このシステムは、酸化物や窒化物などの硬質材料と軟質材料の両方の高性能エッチング/アスパーが可能です。エッチングとアスファリングは高い精度で行われます。部屋に堅い均等性があり、堅牢で使いやすいです。また、プラズマ診断や精密エッチングやアスファリングのための高度なプロセス制御装置を搭載しています。この原子炉には、プラズマ源と、異なる材料のエッチングまたはアスファリングに合わせた特殊な電極が装備されています。このプラズマは、塩素、六フッ化硫黄、酸素などのガスの混合物によって生成され、チャンバーに注入されます。チャンバーは通常、最適な圧力と温度を維持するためにポンプで送り出される所望のプロセスガスで満たされます。プロセスを最適化するために、さまざまなプロセスパラメータを変更することができます。チャンバーの圧力、温度、およびDCバイアスを調整して、所望のエッチングとアスファリングレートを得ることができます。パラメーターを調整して、製品のエッチング品質とプロファイルを微調整することもできます。チャンバは、生産サイクル中に完全なプロセス制御を可能にする目的の設定にプリセットすることもできます。このツールには、ガス検出器や圧力レギュレータなどの安全機能も装備されています。ガス検出器は、危険なガスが検出された場合にアセットを遮断することができますが、圧力レギュレータは、チャンバーの圧力と温度が必要な範囲内にとどまることを保証します。490は高度なエッチングおよびアスパーモデルで、ハードおよびソフト素材に信頼性の高い精密なエッチング/アスペリングを提供します。高度なプロセス制御とタイトなチャンバーの均一性を組み合わせることで、生産プロセスと研究ベースのプロセスの両方に効果的なツールとなります。