中古 LAM RESEARCH 490 #9262860 を販売中

LAM RESEARCH 490は、最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。最先端の機能と性能を備えた490システムは、半導体アプリケーション向けの高度なエッチングおよびアッシングツールです。LAM RESEARCH 490には多数の機能があり、すべてが優れたエッチング機能とアッシング機能を提供するためにカスタマイズされています。ウェーハハンドリングの高度な機能を備えた強化されたウェーハロボットは、ウェーハスクラッチを低減し、統合されたウェーハハンドリングユニットはチップ損傷のリスクを低減します。エッチングのために、490マシンは革新的な熱制御プラズマ均一制御ツール（PUC）を使用してエッチングパラメータを微調整および制御し、さまざまな材料や基板で最高の結果を得ることができます。さらに、LAM RESEARCH 490アセットには、さまざまな基板上のプロセス残留物を最適化するための独自の基板構成可能なプリクリーンプロセスモジュール（PCPM）が含まれています。490装置の堅牢な制御モデルは、ウェーハ間の再現性と再現性を確保します。これにより、生産性を最適化しながら、ツールとユーザーの依存するバリエーションを最小限に抑えることができます。LAM RESEARCH 490システムに搭載されたプロセス制御ソフトウェアは、ユーザーがエッチング、プロファイル、リニアリティのパフォーマンスを最適化し、リアルタイムおよびプロセスログを表示できるように設計されています。490ユニットはまた、オペレータが介入し、必要に応じて是正措置を取ることができるようにすることにより、任意の事故やウェーハの誤処理の可能性を大幅に削減する高度な安全監視および制御マシン（SMSC）が装備されています。さらに、このツールは、ユーザーがメンテナンスレコードとスケジューリングのメンテナンス間隔を追跡および管理するのを支援する内蔵のメンテナンスモジュールを提供し、資産が十分に維持され、トラブルが発生しないようにするのに役立ちます。LAM RESEARCH 490は、最高のエッチング性能を利用するために、ハイエンドのRFジェネレータと幅広いプラズマオプションを備えています。高度なRFジェネレータは、幅広いRFパワーレベルを提供することにより、エッチングプロセスの最大限の柔軟性と制御を可能にします。さらに、マルチウェーハエッチングや超低ギャップエッチングなど、プロセスの均一性を最良に保つための微調整プロセスパラメータを備えています。要約すると、490の機器は、優れた均一性と優れた製品安全性を備えた高度なエッチングおよびアッシング機能に加え、幅広い強力な機能を備えています。このように、このシステムは、エッチング要件が厳しい半導体アプリケーションに最適な選択肢です。