中古 LAM RESEARCH 490 #9251245 を販売中

LAM RESEARCH 490は、金属、ポリマー、シリコン、その他の半導体材料を含む幅広い材料のエッチングおよび洗浄に使用される高性能エッチャーおよびアッシャーです。ロードポートと基板カセット、シングルロック、プレクリーンチャンバー、エッチングチャンバー、ポストクリーンチャンバー、パージチャンバーを備えたマルチチャンバー構造です。半導体ウェーハのエッチングと洗浄を1つの加工チャンバーで行えるように設計されており、複数の基板の同時処理またはシーケンシャル処理が可能です。490は、アプリケーション要件に応じて構築された高度に構成可能なプロセスレシピを利用しています。これは、RF、 DC、 AC電源の可変ソースだけでなく、圧力、温度、流量、プラズマ滞留時間などの他のパラメータでプログラムすることができます。装置には、プロセスを監視するために使用できる高解像度のダイレクトビジョンカメラが装備されています。このマシンには、すべてのプロセスパラメータと条件を記録するデータロギングシステムも装備されています。LAM RESEARCH 490は、高分解能エッチング、反応性イオンエッチング、深反応性イオンエッチング、酸化物エッチング、酸化物エッチングなど様々な材料の選択性の高いエッチング、さらには化学蒸着薄膜などの先端材料のエッチングにも使用できます。さらに、ケミカルエッチング剤やガスを用いたウェットエッチング、電解研磨、基板洗浄などの基板洗浄にも使用できます。490マシンは、プロセスと高スループットの厳格なプラットフォームレベル制御を提供し、標準生産環境向けに設計されています。このツールは操作が簡単で、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ウェーハ処理アプリケーションに最適です。モジュラー設計は柔軟性と拡張性を提供し、他の製造装置やプロセスとの効率的な統合を可能にします。LAM RESEARCH 490は信頼性と耐久性があり、生産環境での長期使用に適しています。