中古 LAM RESEARCH 490 #9244750 を販売中

ID: 9244750
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Sulfur Hexafluoride, Helium, Chlorine.
LAM RESEARCH 490は最先端のエッチャー/アッシャー機器です。これは、最も要求の厳しいプロセス要件のニーズを満たすことができる汎用性の高い高性能ツールです。このシステムは高度な技術で設計されており、高効率、最適な生産性、高いスループットを提供します。このユニットは、イオンアシストエッチング、プラズマエッチング、パーティクルビームエッチングなど、さまざまな高度なエッチング処理を利用しています。エッチング処理により、素材表面を素早く正確に操作することができ、複雑なパターンやデザインを基板にエッチングすることができます。このツールはまた、高品質のステップカバレッジを生成することができるため、研究開発のデバイスプロセスを進めるのに理想的です。このアセットはカスタマイズ可能なチャンバーサイズを備えており、ユーザーはプロセスの要件に最適なエッチング面積と深さを選択できます。また、E-Gasシリーズなどの高度なプロセス監視機能も備えており、ユーザーはエッチング処理とエッチング速度を監視できます。これにより、プロセスが意図されたとおりに実行され、より高度なデバイスの収率が向上します。このモデルにはさまざまなプロセスレシピが付属しているため、ユーザーはプロセスを素早く簡単に設定できます。レシピとともに、異なるエッチングプロセスのレシピのサポートも含まれています。これにより、この装置は、電気蒸着やウェーハボンディングなどの他の生産プロセスと高度に構成可能で互換性があります。このシステムは、プロセス機能に加えて、自動チャンバークリーニングと自動メンテナンス機能も備えており、ユニットの稼働時間と信頼性を最大限に高めています。信頼できる性能と堅牢性の実績を持つ490は、あらゆるエッチングおよびアッシャープロセスに最適です。
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