中古 LAM RESEARCH 490 #9242239 を販売中

LAM RESEARCH 490は、半導体デバイスの製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このツールは、半導体デバイス処理のプロセスを強化するために特別に開発され、基板のより効率的で正確なエッチングとアッシングを可能にしました。490は異なる圧力と温度条件を利用して、特定のエッチング/灰プロセスを可能にします。このツールには、同じ基板上に複数のレシピが装備されており、歩留まりを向上させます。このプロセスにより、定義されたプロセス領域でのターゲットエッチングとアッシングが可能になり、より均一な最終製品を得ることができます。低圧プラズマアッシャーは、有機材料のアッシングに使用され、プラズマ脱落にも使用されます。低圧プラズマは、基板を損傷することなく高速エッチング処理を可能にし、良好な均一性と非常にきれいな表面を残します。高圧プラズマエッチャーは、金属、酸化物およびポリマーを効率的にエッチングするように設計されています。システムは酸素、Cl2、およびSF6ガスを使用して、材料を所望の厚さまで除去します。LAM RESEARCH 490の自動制御システムは、安定したエッチングを可能にし、一貫した最終製品を保証します。490は半導体産業に高められたプロセス機能を持って来るように設計されています。その複数のプロセス機能により、基板の柔軟で正確な処理が可能になり、高圧エッチングにより正確なエッチングと歩留まりが向上します。LAM RESEARCH 490は、プロセスの再現性を確保するための自動制御システムで設計されており、高圧空冷機構によりプラズマを清潔に保ち、半導体デバイス基板のより正確なエッチングとアッシングを可能にします。