中古 LAM RESEARCH 490 #9226288 を販売中

LAM RESEARCH 490は、半導体業界で使用される最先端のエッチャー/アッシャーです。集積回路製造の一部であるエッチングおよびアッシャー層に技術を提供します。この機械はぬれたプロセス化学および乾燥したプロセス化学と作動するように設計されており、異なったタイプの基質を扱うことができます。これは、重要な半導体デバイス向けの完全自動化、高速、高精度のエッチング/アッシャーです。490は一度に5つのプロセス部屋まで作動できます。すべてのプロセスチャンバーには、有害物質の排出を削減するPFPE削減システムが統合されています。また、ウェーハの一貫性を維持するための自動アライメントシステムも備えています。各チャンバーは、優れたエッチング均一性とエッチレート均一性を備えています。これには、広範囲の条件下で安定した高均一エッチングおよびアッシングのための実証済みの誘導結合プラズマ（ICP）源が含まれています。LAM RESEARCH 490には柔軟なレシピオプションがあります。最大温度は700°Cで、プロセスレシピに合わせて個別に調整することができます。マスフローコントローラ（MFC）でエッチング率を調整し、基板表面仕上げを微調整します。アッシングには、UVプラズマベースのアッシング技術を使用して、望ましい表面仕上げを作成できます。490は、自動パターン認識や欠陥検出などの高度な診断を提供します。また、エッチング済みまたはエッチング済みの表面粗さ制御および多層エッチングアプリケーションも提供します。エッチングプロセスには、基板損失率を低減するための均一性のための蒸着制御も含まれています。LAM RESEARCH 490は、プロセスの効率と歩留まりを向上させるための単一の反復プロセスも提供します。全体として、490は非常に汎用性が高く信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、高度な半導体デバイスの製造に一貫した結果を提供します。その高度な機能と強力な機能により、最も複雑なアプリケーションの要求を満たすための完璧なエッチャー/アッシャーです。