中古 LAM RESEARCH 490 #9226287 を販売中

LAM RESEARCH 490（エッチャー/アッシャーとも呼ばれる）は、半導体プロセスで材料をエッチングまたは「取り除く」ために使用される非常に洗練された精密な装置です。半導体製造機械のエッチングチャンバーに使用されています。この装置は、非常に高温で半導体表面から材料の活性層をエッチングして除去するために働くウェットエッチングのアリカーボネートエッチング化学を備えています。490は、ほとんどの半導体チップを構成する半導体ウェーハに特別に設計された機能をエッチングするように設計されています。これらの機能を正確に必要な幅、深さ、角度でエッチングするために、さまざまな機能に依存しています。このシステムには、エッチング処理を最適に制御できる強力で精密なコンピューター制御ユニットであるLest Action Mode （LAM）テクノロジーが搭載されています。また、回転陰極シールドと自動チャンバークリーニング、特殊ガスフローコントローラ、タービンポンプシステム、温度制御環境も備えています。この特徴の組合せは異なったバッチ間の半導体の構造そして一般的な均等性の精密なエッチングを可能にします。LAM RESEARCH 490は、エッチングプロセスの精度と精度を確保するために、ナノメートルレベルの精度でウェーハの最大9（9）異なる位置にエッチングを可能にする正確な横方向の制御ツールを備えています。エッチング速度が高く、精密なプロセス制御が可能で、1分間に25本のウェハを大量に取り扱うことができます。このアセットには、ユーザーがリアルタイムのプロセスデータを取得できるin-situモニターも備えています。使いやすく操作性に優れ、操作マニュアルも分かりやすい。490は半導体産業の装置の生産のための信頼でき、精密なエッチング機械を提供します。