中古 LAM RESEARCH 490 #9226284 を販売中

LAM RESEARCH 490は、半導体製造プロセスにおいて高精度のパターン伝達とエッチング機能を提供するために設計されたウェットエッチャー/アッシャーです。高速サイクルタイムと再現性の高いプロセス結果の両方を提供し、チップ設計者は高い信頼性を備えた小型で複雑な集積回路を製造することができます。490は、4インチウェーハまたは最大8インチウェーハをミニチャンバーに収容できる大型液体レジストおよびエッチングチャンバーを備えています。自動化されたリアルタイム液面監視フィールド（Auto-LVM）と各層の正確なエッチングを保証する耐性材料管理装置（RAM）を備えています。トップローディングのロードロックには、最大10個のプロセスレシピとチップ生産環境用のクリーンエアカーテンが含まれています。さらに、最適なパターン転送、正確な均一なエッチング、欠陥低減のための厳密なプロセス制御を提供します。ウエハハンドリングロボット、高精度のベンチュリベースのエッチソース、および一貫したフォーカスとエッチングレートの均一性を確保するための層流ガス分配ユニットが付属しています。また、高速転送のための自動水洗浄とクリーンなロードロック、およびスループットを向上させるためのより速い平衡時間のための加熱されたロードロックも含まれています。LAM RESEARCH 490は、高度なソフトウェアコントロールと、カスタムデザインのアラーム表示を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルオペレーターインターフェイスを備えています。オフライン最適化機能を備えた自動化されたツール認定マシンと、サイクルタイムと欠陥レートを監視する現場のOEEモニターをユーザーに提供します。さらに、広範なプロセスデータベースにより、高速で再現可能な操作が可能です。490は、高精度で反復可能な結果を得るために設計されたオールインワンエッチング/エッチングアッシャツールです。小規模および大規模な半導体製造プロセスでの使用に適しており、さまざまなプロセスのニーズに費用対効果の高いソリューションを提供します。