中古 LAM RESEARCH 490 #9196387 を販売中

LAM RESEARCH 490は、プラズマとフォトレジスト技術を備えた最先端のエッチャー/アッシャーです。金属、プラスチック、セラミックス、薄膜などの材料をエッチングするように設計されています。これにより、高信頼性の電子部品や光電子部品の複雑なパターンや機能を作成するのに理想的です。490は、エッチング時の積み降ろしを容易にする自動ウェーハ処理機構を備えています。この機構により、エッチング工程の均一性が確保され、再現性の高い結果が得られます。また、エッチング中のエラーを最小限に抑え、表面の損傷を最小限に抑えるためのウェーハアライメントプロセスも備えています。LAM RESEARCH 490は、RFとDCエッチングの両方を提供します。RFエッチングは、高温プロセスによって生成される過剰なイオンを生成することなくエッチングを可能にし、材料の汚染を防ぎ、エッチング結果の品質を向上させます。一方、DCエッチングは、エッチング速度を高め、エッチング時間を短縮する低電流エッチング方式を採用しています。490のアッシャー部分は、短くて長い典型的なエッチング/スクライビングランに対応しています。また、エッチング前にウェーハにフォトレジストを塗布することもできます。LAM RESEARCH 490は、広範囲のウェーハ径にわたって非常に高い再現性と均一性を備えたエッチングおよびアッシャー機能を備えています。490の制御システムは、さまざまな材料やプロセスの種類に最適なエッチングパラメータを可能にする内部センサーを組み込んだクローズドループシステムです。これらのセンシング機能は、プロセスが不安定になる可能性のある突然の変化も監視します。全体として、LAM RESEARCH 490は信頼性が高く高精度なエッチャー/アッシャーであり、さまざまなフォトレジストおよびエッチング処理に使用できます。その特徴と機能は、迅速なターンで最適なエッチング性能と品質を達成するのに役立ちます。