中古 LAM RESEARCH 490 #9112923 を販売中

LAM RESEARCH 490は薄膜導電性材料を加工するために設計されたエッチャー/アッシャーです。様々な化合物を利用して、希望材料の薄膜を蒸発・形成する化学蒸着工具です。490は、ナノメートルレベルまでの厚さと組成の均一性を有する薄膜を生成することができます。このツールは、高いスループットと操作性を提供し、薄膜を迅速かつ正確に製造できるようにします。LAM RESEARCH 490は、2インチから8インチまでの直径を持つ最大4つのウェーハを収容できる標準的な真空チャンバーで設計されています。このツールは、さまざまなサイズの最大4つの基板を処理することもできます。真空チャンバーは空気循環装置によって冷却され、2つの独立したチャンバーヒーターによって加熱されます。これにより、プロセス中にウェーハ全体にわたって均一で一貫した温度が保証されます。490は、エッチングまたはアッシング中に最大10 Torrの高圧を生成することができ、正確な再現性のある結果を得るためにプログラムすることができます。LAM RESEARCH 490には、最大2800°Cの温度を達成できる石英蒸発源が装備されています。これにより、負と正のフォトレジストや金、銅、アルミニウムなどの金属など、さまざまな材料を堆積させることができます。また、薄膜の接着性を高めるために、加工前のウェーハの前処理にも使用できます。490はまたより大きい基質区域のashing/etchingの均等性を保障するのに使用される頻度走査システムが装備されています。このユニットを使用すると、プロセスを適用する頻度を選択することができ、目的の材料を迅速かつ正確に生産することができます。LAM RESEARCH 490には、ツールとそのプロセスに関するリアルタイムデータを提供できるリモートモニタリングマシンも装備されています。これにより、工具の性能を向上させ、最高品質の製品を確実に生産できるように即座に調整することができます。さらに、このツールは、エッチング/アッシング処理中に各ウェーハの化学および温度を追跡する複数のウェーハ監視ツールで設計されています。490は、薄膜導電性材料の製造およびレビューに最適な堅牢で信頼性の高い資産です。このモデルは、費用対効果の高い方法で、均一性と精度の最適な組み合わせを提供します。