中古 LAM RESEARCH 490 #9031604 を販売中

LAM RESEARCH 490は、高度なプラズマエッチャーとケミカルアッシャーです。LAMのEシリーズプラズマおよびAshersの一部であり、誘電体、ポリイミド、SiO2材料など、さまざまな基板上に高精度のエッチングパターンを生成するように設計されています。LAM 490は300Wの公称電力で動作し、拡張エッチング時間能力と低い汚染レベルと改善された均一性を兼ね備えています。LAM RESEARCH 490には、幅広いプロセス圧力と濃度に対応するために調整することができるさまざまなガスラインと圧力能力が付属しています。この範囲の柔軟性により、デュアルレベルエッチング、ステップエッチング、垂直プロファイルなどの高度なアプリケーションの変更など、さまざまなセルタイプのアプリケーションを使用できます。490はまた、カーボン、フッ素、酸素材料から形成されたプラズマなどの困難なエッチングのシナリオで精度を維持することを可能にする優れたアウトガスを備えています。また、LAM RESEARCH 490で実現できるエッチング選択性は優れており、ウェーハ表面処理、化学機械平坦化（CMP）、中間誘電エッチングなどの分野でよく利用されています。490のもう1つの利点は、2段階または2段階のイオン源、回転式およびリニアアンテナアレイ、可変圧力機能、統合されたクリーニング機能など、幅広いチャンバー構成とオプションを備えていることです。これにより、顧客の特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。さらに、高出力のリピータブルエッチタイマーが付属しているため、分散を最小限に抑えてプロセス時間を正確に制御できます。さらに、LAM RESEARCH 490は、調整可能なパワーレベルのDC-RF電源と、より精密なエッチングを可能にする調整可能な周波数を備えています。全体として、490は多数の産業および適用のための理想的な高度の血しょうエッチャーおよび化学アッシャーです。最先端の設計により、さまざまなプロセスエッチング要件で効率、精度、品質管理を向上させます。その汎用性と精度は、ハイエンドで複雑なプロジェクトに最適です。