中古 LAM RESEARCH 490 #293747959 を販売中

LAM RESEARCH 490は、業界で最高品質のエッチングパターンと最高のエッチングプロセス制御を提供するように設計されたサーマルエッチング装置です。490はリアクティブイオンエッチング（RIE）技術を使用しており、基板表面と反応ガスの密閉制御プラズマを組み合わせて、ターゲットとなる材料をコーティングから除去します。LAM RESEARCH 490は、数多くの主要技術とユーザーフレンドリーなソフトウェア機能を統合して、正確さ、繰り返し可能な性能、そして無敵の速度を備えた信頼性の高いシステムを提供します。490は、LAMの特許取得済みのPitchScanTM自動クリーニング機能を備えており、手動の粒子クリーニングの必要性を排除します。PitchScanは、4µmの粒子を検出して除去することができ、基板表面の汚染を大幅に低減します。このユニットはまた、エッチングパターンのシャープさ、解像度、機能定義を高めるために、画像強化と呼ばれる最新の技術を使用しています。さらに、LAM RESEARCH 490の高度でフル機能の光学パッケージは、パルス、エネルギー、ビーム幅を変化させる機能を備えています。490は、同じ距離からサンプルまでの焦点精度を維持しながら、直径8インチまでの基板を受け入れます。LAM RESEARCH 490は、高度な温度制御機械により、工具から工具までの均一性とエッチングパターンの再現性に優れています。高いスループットを確保するために、490にはさまざまなエッチングプロセスを実行できる複数のレシピ設定が付属しています。LAM RESEARCH 490には、セル間のバリエーションを最小限に抑えるツイスターとシャッターツールも装備されています。エッチングプロセスの制御をさらに向上させるために、490は高度なガスセルフチューニング機能を備えています。このセルフチューニング機能は、レシピごとに最適な設定を自動的に検出し、最高品質のエッチングパターンを確保することができます。さらに、LAM RESEARCH 490の直感的なユーザーインターフェースは、エッチングプロセスの結果をリアルタイムでフィードバックします。全体として、490は多くの主要な技術とソフトウェア機能を組み合わせて、エッチング性能とプロセス制御の最高水準を満たす洗練されたツールを提供します。