中古 LAM RESEARCH 490 #293605750 を販売中

LAM RESEARCH 490は、高い精度と再現性でウェーハをエッチングするプロセスを簡素化するために設計された、堅牢なアッシャー/エッチャー装置です。回転式と反転式のペデスタルテーブルを搭載し、ウェーハの両側に容易にアクセスでき、最適なエッチング精度が得られます。さらに、ウェーハの高さの違いを調整することができ、ウェーハの表面全体にわたって一貫したエッチングパターンを確保します。490には、最適なエッチング温度を確保するための高度な温度制御アルゴリズムと、反応雰囲気の制御を改善するための自動窒素処理機が含まれています。これら2つの要素を組み合わせることで、品質と歩留まりの向上と、より長い工具寿命と安定性を実現します。LAM RESEARCH 490には、グラフィカルユーザーインターフェイスを含む多数のユーザーフレンドリーな機能も含まれています。 効率的なウェーハ追跡とプログラムパラメータ設定のためのGUI （GUI）、処理中のウェーハからプラテンへの接触のためのアライメントツール、エッチング室内外へのウェーハの自動転送とロードを可能にするロボットウェーハ転送アセット、利便性を高める専用バーコードリーダー。490には強力な真空モデルも付属しており、処理チャンバーをわずか90秒以上で24 mbarまで排出することができ、必要なプロセス環境を迅速かつ正確に実現するのに役立ちます。さらに、LAM RESEARCH 490にはさまざまなバージョン管理ソフトウェアパッケージが含まれており、エッチング工程の多くを効率化するのに役立ちます。要約すると、490は堅牢なアッシャー/エッチャー装置であり、歩留まりの改善、プロセスの再現性と精度の向上、およびウェハ転送やエッチング室の避難などの時間のかかるタスクの最小化に役立ついくつかの機能を提供します。このシステムは、多くのエッチング用途において信頼性が高く費用対効果の高い代替手段です。