中古 LAM RESEARCH 490 #293604249 を販売中

LAM RESEARCH 490は、より高いスループット、柔軟性、信頼性のために設計されたプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装備のAsher/Etcherです。この堅牢な加工ツールには、267 mm x 267 mmウェハサイズ、1。6 mbarベース圧力、および7kWロードロック/大容量ロードロック/プロセスチャンバーがあります。高速熱処理は30°Cから250°Cの間で動作するように構成されており、最大13のプログラム可能なレシピと4つの蒸着ヘッドと5つのエッチングチャンバーを備えたプロセスパラメータがあります。490は一貫した、反復可能な処理結果を保障する高度の技術と造られます。オートスロープ機能により、サーマルサイクリング時のチャンバー内のウェーハの配置ミスを最小限に抑え、ウェーハ取り扱いシステムを刷新し、オペレータのウェーハ取り出しを容易にしました。また、エッチング/アッシャーは、スパッタ/エッチング成膜およびエッチング用途向けの多周波RF基板電源、および高度な高調波インピーダンスソースマッチング技術を備えており、処理制御を強化しています。LAM RESEARCH 490には柔軟な設計機能があり、お客様は特定の基板タイプ、アプリケーション、品質仕様、および蒸着要件に合わせてプロセスレシピをカスタマイズできます。統合されたヒーターと統合された冷却ポートは、プロセスの均一性を向上させるためにそれぞれ均一な加熱と冷却を提供します。490はまた、マルチタレットやマクロバッチ機能、高度なシステム監視および診断機能などの操作を簡素化するための高度なタレット管理も提供します。さらに、このPECVDを搭載したasher/etcherは、高度なWebベースのGUIを活用して、ユーザーインタラクション、セットアップ、設定時間を短縮します。プログラミングを簡素化し、手動操作の複雑さを軽減する直感的なディスプレイを備えています。また、システムの安定性の向上とダウンタイムの最小化にも貢献します。全体として、LAM RESEARCH 490は効率的で堅牢なPECVD搭載のアッシャー/エッチャーツールであり、予測可能で再現性のある結果で優れた処理を提供します。その高度な技術機能により、お客様は最高レベルのスループット、柔軟性、信頼性に達することができます。