中古 LAM RESEARCH 490 / 590 #9119465 を販売中

LAM RESEARCH 490/590は、半導体技術のために設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。精密エッチング、アッシング、アニーリングプロセスに革新的なソリューションを提供します。それはエッチングし、非常に精密なトレンチをアニールするように設計されています、接触穴、マイクロバイアサンドビアホール。また、高度なトレンチ、銅、誘電エッチングプロセスもサポートしています。490/590モデルは、この高度なエッチャー/アッシャーシステム用に特別に開発された最先端の技術であるGEMINI®プロセス制御を使用しています。GEMINI®は、優れたプロセス機能と予測可能な結果を実現する統合ソフトウェアパッケージです。ユニットのパフォーマンスを最適化するのに役立ち、各エッチングまたはアニールジョブが仕様に完了することを保証します。LAM RESEARCH 490/590は、半導体製造のための低コストで費用対効果の高いエッチャー/アッシャーであるように設計されています。最大5インチウェーハを安全に処理でき、自動ローディングシーケンスにより、ウェーハの処理を最小限に抑え、プロセススループットを最大化できます。これは、汚染を防ぎ、クリーンなプロセス環境を提供する高効率の窒素と彗星ガス拡散システムと、高度なクリーンルーム技術で製造されています。490/590は、高度なエッチング技術を使用して、幅広い選択可能なプロセス設定を使用して、優れた結果を提供します。ガスの流れ、圧力、偏りおよび温度はすべて調節可能、監視されます。これらの設定により、各エッチングプロセスの最適化が可能になり、さまざまなアプリケーションに最適な結果が得られます。LAM RESEARCH 490/590はエンドユーザーに柔軟性を提供し、さまざまなモードで動作することができます。同様のサイズと形状のエッチングを複数作成する場合は「標準モード」が最適ですが「、ステップモード」はより精密なエッチングジョブに最適です。さらに、490/590は、ガス遮断センサー、電源管理システム、自動ドアロックシステムなどの高度な安全機能をサポートしています。さらに、プロセス粒子が制御された環境に侵入するのを防ぐ高効率の排気ツールを備えています。要約すると、LAM RESEARCH 490/590は高度なエッチャー/アッシャー資産です。洗練されたソフトウェアパッケージであるGEMINI®プロセス制御を使用し、最大5インチウェーハをサポートします。それは優秀な結果の非常に精密な溝、接触穴、マイクロビアおよびビア穴をエッチングし、アニールすることができます。さらに、幅広いプロセス設定を提供し、高度な安全機能をサポートします。全体として、490/590は半導体エッチングおよびアニーリング用途に最適です。