中古 LAM RESEARCH 490 / 590 #293817052 を販売中

LAM RESEARCH 490エッチャー/アッシャーは、研究開発や半導体生産に使用するために設計された小型で汎用性の高いプラズマエッチングおよびアッシング装置です。半導体ウェーハ、基板、有機ELなどの異なる材料を同時に処理できるマルチチャンバー設計を特徴としています。490には、高周波プラズマを使用した高度なエッチングおよびアッシングプロセスと、高いエッチング選択性を達成するための化学的補助技術が含まれています。このユニットはPLCシステムによって制御され、小型のフットプリントを備えているため、中小規模のラボに最適です。490は、主反応室とその上にある補助室を備えたデュアルチャンバーユニットです。メインチャンバーは、最大12インチウェーハを含むエッチングおよびアッシングプロセスに使用されます。また、基板や有機物などのサンプルにも対応しています。このマシンには、エッチングプロセスを監視するためのビューポートとプラズマ分光ポートも含まれています。LAM RESEARCH 490は、他の洗浄システムと比較して環境負荷を最小限に抑えた高精度のエッチングおよびアッシング機能を提供するように設計されています。さらに、ツールの広範なサポートソフトウェアの助けを借りて、プロセスの最適化を効率的に行うことができます。プロセスソフトウェアは、プロセスパラメータを設定し、エッチングとアッシングプロセスを制御することができます。また、高度な診断機能により、資産の問題を簡単に特定し、迅速に対処することができます。このモデルには、過圧警報装置、温度コントローラ、アクティブガスおよび化学モニタリングなどの高度な安全機能も装備されています。さらに、490は、プロセスの問題を特定および診断するのに役立つ自己完結型の診断システムであるICEDを備えており、迅速な解決とダウンタイムの最小化を可能にします。全体として、LAM RESEARCH 490は、研究開発、半導体生産、およびその他の高度な洗浄アプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。効率的なエッチングとアッシングプロセス、広範なプロセス最適化ソフトウェアを提供します。高度な安全機能により、環境への影響を最小限に抑えて安全に動作します。