中古 LAM RESEARCH 4720 #9272634 を販売中

LAM RESEARCH 4720エッチャー/アッシャーは、卓越したプロセス品質と高いスループットを提供するように設計された完全に自動化されたウェットエッチング装置です。この装置は、幅広い金属および誘電体において、湿式および乾式の両方の処理機能を実行することができます。4720エッチャー/アッシャーは、様々なプリプログラム機能を備え、8インチから200 mmまでのさまざまなウェーハを処理できます。高密度プラズマエッチング、薄膜成膜、フォトレジストアッシング、ウェットエッチングなどの用途に最適です。LAMの研究4720のエッチャー/asherは3つの主要な部品から成っています；化学配達モジュール、部屋アセンブリおよび電源モジュール。ケミカルデリバリーモジュールは、エッチング処理中にエッチング液、フォトレジスト溶剤、およびその他の化学物質を提供します。チャンバーアセンブリには、幅広いエッチングアプリケーションとプロセスオプションをサポートするように設計されたユニバーサルバレルが含まれています。電源モジュールには、エッチング処理に必要な高電圧を供給する高電圧電源が含まれています。このシステムは、さまざまなエッチング後のステップにも対応しています。4720エッチャー/アッシャーのプラットフォームにより、ユーザーは最適なプロセスレシピを選択し、プロセスをリアルタイムで監視できます。ツールの統合制御ユニットは、ガスの流れと圧力の制御、エッチング温度の制御、エッチング速度の制御、および総処理時間の制御を含む幅広い制御オプションをユーザーに提供します。さらに、ユーザーはプロセスの状態を監視したり、ライブプロセスのビデオを表示したり、プロセスのパラメータを調整したり、エッチング中にデータ結果を保存したりできます。LAM RESEARCH 4720エッチャー/アッシャーは、プロセスとパフォーマンスの完璧なバランスを実現するように設計されています。これは、比類のないプロセスの再現性、パフォーマンス、使いやすさと最大のスループットを提供するように設計されています。また、簡単で安全な操作とポストエッチング周辺機器へのアクセスのために設計されています。汎用性の高い4720エッチャー/アッシャーマシンは、多くのアプリケーションに適した優れたエッチングプロセスを提供します。