中古 LAM RESEARCH 4600 #293778302 を販売中

LAM RESEARCH 4600はエッチャー/アッシャーです。ウェーハ、基板、表面を精度と精度で迅速にエッチングするように設計されています。ウェットエッチング、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング、プラズマエッチングなど、さまざまな技術を活用しています。高度な技術により、4600は等方性エッチングを提供し、表面全体に均一な速度で材料をエッチングすることができます。それは回路、トランジスタ、および他の小さい、複雑な設計を作成するために理想的です。このエッチャーは、幅広い基材や厚みの中で作業しながら、均一で最高品質の結果を生み出すように設計されています。このユニットには、エッチングプロセスごとに優れた再現性を提供するLAMの高度なプロセス制御システムが装備されています。また、カセットからカセットまでのマテリアルハンドリングオプションを装備し、ロードモニターを内蔵し、安全で正確なエッチングを実現しています。このシステムはオープンアーキテクチャのソフトウェアプラットフォームも備えており、さまざまなカスタマイズ可能なユーザープログラムをホストする柔軟性を提供します。そのツールソフトウェアは、特定の要件を満たすために顧客からレシピやチャートを処理するためにも使用でき、LAM RESEARCH 4600を他のエッチングシステムと簡単に統合できます。機能性のために、このエッチャーは1、2、または3つのチャンバーに設定でき、交換可能なチャンバー構成で古いシステムの技術的欠点を取り除くことができます。全体として、このユニットは、マイクロエレクトロニクスの生産、フォトリソグラフィなど、さまざまな産業エッチング用途に最適です。