中古 LAM RESEARCH 4600 #293764324 を販売中

LAM RESEARCH 4600は、さまざまな半導体アプリケーション向けの高度なエッチャー/アッシャーです。4600の基本設計には2つの独立したアッシングチャンバーが含まれており、それぞれに幅広いエッチング深さ、温度、化学物質を供給することができます。これにより、複雑なエッチング処理を実現しながら、優れた均一性を提供します。LAM RESEARCH 4600には、工具の性能を向上させ、汚染を低減するための専用ポンプ装置があります。フレキシブルポンピングシステムは、専用のガス洗浄機能、圧力制御、および動的ガス流量検出を可能にします。プロセスの安定性を維持し、粒子の汚染ポテンシャルを低減するために、複数のチャンバーが有効になります。4600には、エッチングおよびアッシング用途に最適ないくつかの革新的な機能があります。その独自の「ドライエッチング技術」は、浅い溝と小さなビアのエッチングに適しており、さまざまなアプリケーション要件に最適です。また、乾燥酸化と乾燥エッチングをワンステップで組み合わせることで、高いエッチング率と低残留を実現する3段階の「ドライアッシング」プロセスを採用しています。これにより、有機、小型のフィーチャーサイズ、コンフォーマル層、金属誘電体を大幅な精度と容易に除去することができます。LAM RESEARCH 4600は、予測モデルや特徴認識を含む堅牢なプロセス制御ツールで設計されており、品質の向上を保証します。これにより、高い精度と再現性を実現し、プロセスの再現性を確保しながら、手動による介入を不要にします。プロセス制御機能に加えて、4600はエッチング時間を短縮する高速回転機能も備えています。これは、エッチング処理を高速化し、不均一なアッシングによる欠陥形成を最小限に抑えるのに役立ちます。このマシンにはいくつかのユーザーフレンドリーなインターフェイスオプションがあり、エントリーレベルと高度なエッチャー/アッシャーユーザーの両方に最適です。LAM RESEARCH 4600は、最新の半導体アプリケーションのニーズを満たすために、幅広いエッチング深度、温度、化学製品を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このツールは、堅牢なプロセス制御ツール、高速回転機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されており、初心者でも経験豊富なユーザーでも最適です。