中古 LAM RESEARCH 4528i #9167075 を販売中

LAM RESEARCH 4528iは、薄膜をウェーハ表面に正確にエッチングして堆積させるために設計されたエッチャー/アッシャーです。精密成膜プロセスと信頼性の高い対流ベースのエッチングにより、信頼性の高い加工結果を保証します。この装置は、シンプルで効率的なサンプルローディング、アンロード、およびハンドリングを提供するため、幅広いハイスループットアプリケーションに最適です。LAM 4528iは、低所有コストで優れたスループットレートと製品品質を実現します。静電チャックローディング/アンロード技術、真空成膜チャンバー、プラズマアッシャー内蔵を採用しています。このシステムには、自動ウェーハ位置決めユニット、統合されたウェーハチャック環境制御マシン、および統合スパッタリングハードウェアが装備されています。圧力を測定することによって酸素と窒素のガス濃度を正確に制御する能力は、専用のガス供給とマスフローコントローラを介して組み込まれています。LAM RESEARCH 4528iは、誘電体、ポリマー、各種金属など幅広い材料で使用するために構築されています。このツールには調節可能なソース、温度、回転速度があり、これによりさまざまな機能が可能になります。アセットには、反応性ガスと追加の材料源を処理チャンバにポンプで送り込むことを可能にする追加のポートも装備されています。4528iは革新的なウェーハエッチャー/アッシャーであり、高スループット生産および研究所のニーズを満たすために高度な汎用性と精度を提供します。このモデルはまた、使用と維持が簡単で、一貫して信頼性の高い処理結果を保証します。LAM RESEARCH 4528iは、先進的な技術と操作性にこだわり、幅広い薄膜成膜およびエッチング用途に魅力的なオプションです。