中古 LAM RESEARCH 4528 #9200106 を販売中

LAM RESEARCH 4528は、半導体製造で長年使用されている有名なエッチング/アッシング機器です。金属や誘電材料のエッチングまたはアッシングを必要とするさまざまなプロセスで使用されます。最も一般的な用途は、半導体ウェーハ上の薄膜のパターニングであり、高い精度で滑らかなアッシング処理を提供します。このシステムには、光の強度、反射、屈折など、さまざまな光学パラメータを測定するデジタルイメージングアレイ（DIA）が搭載されています。これは、所望のパターンの正確なエッチングを確保するのに役立ちます。エッチング材料を提供する溶融化学蒸着板（MCVD）を有するエッチングチャンバーに焦点を当てています。また、ウェーハ表面に異なる化学物質を堆積させることができる真空蒸着ユニットを備えており、エッチングが可能です。4528には、ユーザーが毎回手動で調整することなくエッチングパラメータを設定できる自動調整機能が内蔵されています。これにより、潜在的なエラーが排除され、プロセスの効率が向上します。LAM RESEARCH 4528には、過度の温度、過加圧、過熱などの安全でないレベルでの動作を防止する安全機能が内蔵されています。これにより、マイクロマシニングプロセスが安全で信頼性が高いことが保証されます。操作面では、4528は、エッチングとアッシング処理を完了するために必要なすべての情報を提供するユーザーフレンドリーなインターフェイスを持っています。マシンは、汎用、バッチバイバッチ、またはシングルサンプルモードなど、さまざまなモードで実行するようにプログラムすることができます。さらに、LAM RESEARCH 4528は、特定のジョブのエッチングパラメータのさらなるカスタマイズをサポートします。4528ツールはその信頼性と性能でよく知られています。使いやすく、正確で、効率的で、さまざまな材料で高品質のエッチングとアッシングの結果を提供します。この資産はまた、高いレベルの安全性を提供し、あらゆる微細加工プロセスに理想的な選択肢となります。