中古 LAM RESEARCH 4520i #9226619 を販売中

LAM RESEARCH 4520iは、最先端の超精密プラズマエッチャー/アッシャーで、最も要求の厳しい精密なエッチング要件を処理するように設計されています。この画期的なツールは、ウェハレベルの精密エッチングを提供し、オプションの多軸エッチングで3または4の両面エッチングを選択できます。4520iはリアルタイムのクローズドループエッチングエンジンを使用しており、インプロセス制御とプロセス安定性を実現しています。これにより、高品質のエッチングが得られ、プロセスの欠陥はほとんどありません。LAM RESEARCH 4520iは、マルチモードプロセスチャンバーを含むウェーハおよび基板の精密エッチングおよびアッシング用に設計された幅広い機能を備えており、プロセス制御の強化とプロセス安定性の向上を可能にします。チャンバー設計は、優れた均一性と再現性を提供し、優れた真空性能と低粒子レベルで、さまざまな基材に非常に柔軟性があります。エッチャーは、高い精度を達成することができます、解像度のオプションの広い範囲で、± 0。5ミクロンの精度を達成します。4520iの高度なシステムアーキテクチャにより、柔軟なプロセス制御とデータ収集により、簡単にオペレータを使用できます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、プロセスパラメータの設定と操作、およびプロセスランのデータロギングを容易にします。このユニットには、レシピベースのプログラミング機能も装備されており、特定のプロセスに固有のカスタムレシピの将来の開発を可能にします。LAM RESEARCH 4520iは、信頼性が高く効率的なプラズマエッチャー/アッシャーシステムであり、最適なデバイス収率のために一貫した高品質のエッチングプロセスを提供します。高度な機能、汎用性、幅広いプロセスオプションを備えたこのシステムは、研究開発や少量生産アプリケーションに最適です。統合されたハードウェアとソフトウェアは、包括的なプロセス制御を提供し、高い歩留まり率を保証するため、4520iは費用対効果の高い高精度エッチャー/アッシャーを必要とする人々にとって理想的な選択肢となります。