中古 LAM RESEARCH 4520i #9188609 を販売中

LAM RESEARCH 4520i Etcher/Asherは、ウェーハエッチングとウェーハアッシングのための最先端の統合マシンです。このシステムは高度にカスタマイズ可能であり、さまざまなアプリケーションに最適なエッチングと灰の結果を生成することができます。4520iは、III-V、シリコン、MEMS材料を含む複雑なウエハ構造の高精度エッチングおよびアッシング用に設計されており、優れた精度とプロセス再現性を備えています。サイクルタイムを短縮し、完成品の収量を増やすために特別に設計されています。この機械には、高性能プラズマ源を使用できる高度なプラズマ配信システムが装備されており、最適なエッチングと灰の結果を提供します。エッチング処理は、さまざまなエッチングのニーズに合わせて調整可能な独自のソフトウェアパッケージによって制御されます。また、高度なセルフクリーニング機能を備えており、繰り返し可能で一貫した結果を保証できます。最後に、このマシンは、エッチングとアッシングのプロセス中に監視する機能を提供しながら、エッチングの深さを正確に制御するための独自の現場温度測定を備えています。要するに、LAM RESEARCH 4520iは、複雑なウエハ構造のエッチングとアッシングに理想的なソリューションであり、優れた精度と再現性を備えており、高い忠実度の結果を確実に提供します。