中古 LAM RESEARCH 4520B #9278088 を販売中
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LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asherは、半導体デバイス製造用の高性能、3チャンバー、インラインアッシャー/エッチャーです。4520Bに個々の部屋の使用、温度、圧力および調理法の開発の柔軟性を提供する独特な独立したスライドのロードロックがあります。エッチャー/アッシャーは安全システムで完全に構成されており、自己診断機能を内蔵しています。スムーズな均一な処理能力を備えた信頼性の高い高収率デバイスを提供するように設計されています。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asherは、最小限のフットプリントと簡単に提供される通信インターフェースで最大3つの処理チャンバを同時に収容するコンパクトな平面設計を備えています。エッチャー/アッシャーは、積極的な均一性制御技術、独自のプラズマ源、および高度なガス供給装置を備えています。4520B、アッシャー、一定温度またはプログラム可能な温度エッチャー、交換可能なウェットクリーンの3つの処理チャンバにより、エッチング材料、温度および圧力、プラズマ電力、エッチング均一性などのさまざまなパラメータを最適化し、最適なスループットと歩留まりを実現できます。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asherは、ユーザーが正確なプロセスを迅速かつ簡単に複製することができる正確な記録可能なレシピ制御を備えています。それに調理法の最適化および部屋の性能のための実時間部屋診断システムが付いている部屋レベルおよび調理法レベルの品質管理のための作り付けサポートが、あります。さらに、温度、圧力、ガスの流れを含む幅広いプロセスパラメータを提供し、個々のチャンバーを正確に制御します。さらに、ガス封じ込め、チャンバー4520Bの遮断、自動化された圧力制御ユニット、照明器具などの効率的な安全機能を備えています。また、ハンズフリーのエンドポイント検出、便利なリソース共有を提供し、ユーザーはウェーハからウェーハの再現性など、利用可能なすべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。全体として、LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asherは、すべての半導体デバイス製造に最適なソリューションです。効率的な安全機能を備え、正確な制御を提供し、均一なデバイス処理のための正確なレシピ実行を可能にします。
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