中古 LAM RESEARCH 4520 #9401524 を販売中

LAM RESEARCH 4520は高性能エッチャー/アッシャーです。VRIEA （Vertical Reactive Ion Etcher and Asher）システムは、生産用に設計されたシングルウェーハです。このシステムは、電源と化学物質の特殊な組み合わせを利用して、高精度のエッチングとアッシングの結果を提供する一貫した反復可能なプロセスを作成します。4520は、さまざまなプロセスの広い範囲が可能です。クリーンで厚みのあるドライエッチングプロセス、オプションで統合されたアッシャーを備えており、熱機能を備えています。また、レシピの設定、データ収集、管理、システム診断のための高度なインターフェイスも備えています。これにより、幅広いプロセスの柔軟性とカスタム構成が可能になります。LAM RESEARCH 4520は、幅広いチップサイズ用に設計されています。1〜6インチのウェーハに対応しており、NMOS、 PMOS、酸化物材料からの厚みを実現できます。狭く均一なエッチングが特徴で、クリティカルな寸法を最小限に抑え、精度は+/-0。25ミクロンです。4520は、望ましいエッチングとアッシングプロセスを達成するためにプラズマ電源と化学物質を利用しています。そのガス混合物は、各プロセスに合わせて調整され、多くの組み合わせで構成することができます。高周波の可変発電機は均一で一貫したプロセスを保障します。LAM RESEARCH 4520には、エッチングとアッシングプロセスを管理するための高度なソフトウェアアプリケーションも含まれています。このソフトウェアは、エッチングレシピのシーケンシャルステップを作成し、生産データを収集し、プロセスパラメータを確認するのに役立ちます。また、エッチングプロセスのトラブルシューティングや自動化にも役立ちます。汎用性の高い4520は、今日の最小かつ最も困難な製品の生産のために設計されています。統合されたソフトウェアと高度なプロセスにより、高精度のエッチングとアッシングに最適です。それは可能な限り最良の結果を確保するために必要な再現性と均一性を提供することができます。