中古 LAM RESEARCH 4520 #9389919 を販売中

LAM RESEARCH 4520エッチャー/アッシャーは、エッチングおよびアッシング用途において優れた性能を提供するために特別に設計された最先端のデバイスです。4520は半導体加工の使用のために意図され、さまざまな適用のための信頼できる、反復可能な結果を提供します。エッチャー/アッシャーは、20インチ×12インチの大型ワークチャンバーを備えており、大型基板でも容易に対応できます。これは、使用されている特定のエッチングまたはアッシングプロセスに対して最も理想的な条件を達成できるように、高度なユーザーコントロールのプロセスパラメータを備えています。温度制御は設定点の0。5°C以内±調整され、正確で再現性のある結果が得られます。LAM RESEARCH 4520は、コンパクトで省エネな設計を特徴とし、ホットエッジロボットハンドリングやデータロギング機能を備えたリモートプロセス監視などの高度なオプションを備えています。RFプラズマソースと完全に調整可能なクローズドループのフィードバック制御により、再現可能で高品質なプロセスを実現し、基板全体にわたって正確かつ一貫したエッチングの均一性を提供します。安全性を高めるために、真空排気モニター、電気的な危険を防ぐための遮蔽壁、運転中の不適切なドアの開閉を防ぐインターロックなど、多くの安全機能を備えています。さらに、4520は交換可能で耐久性のある304グレードのステンレス製インテリアで、簡単なクリーニングと長寿命を実現しています。LAM RESEARCH 4520は、使いやすさとメンテナンス性に加え、様々なプロセスガスや液体前駆体に対応しています。ディープエッチング、アッシング、RIEプロセスなどの用途や、炭化ケイ素、ヒ素ガリウム、窒化ガリウム、二硫化モリブデンなどの特定の基板に最適です。全体的に、4520エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスのために、繰り返し可能で一貫した結果をユーザーフレンドリーに提供できる優れたデバイスです。その高度な機能、卓越した温度制御、省エネ設計により、効率的で信頼性の高い表面処理操作を必要とするラボや業界にとって理想的な選択肢となります。