中古 LAM RESEARCH 4520 #9243876 を販売中

LAM RESEARCH 4520 Asherは、均一性と性能の高い製品を生産するために設計された物理蒸着（PVD）エッチャーです。エッチング、微細加工、薄膜蒸着処理が可能です。半導体加工に必要なサブミクロン機能の費用対効果の高いツールです。4520アッシャーには、エッチングと薄膜蒸着プロセスの間の迅速な移行を可能にするユニークな機能があり、生産サイクル時間を最適化します。高度なプロセスチャンバー設計により、大規模なウエハサイズにわたって迅速な処理時間と均一性を提供します。エッチングプロセス全体が完全に閉じたループが濡れて乾燥しています。LAM RESEARCH 4520 Asherは、異方性または層ごとの堆積、および非制御エッチングを可能にするデュアルノズルシステムを備えています。これにより、大量の精度と制御を必要とするエッチング処理に特に役立ちます。このユニットは、1回の実行で直径8インチ、厚さ1インチまでの複数のウェーハを処理できます。4520 Asherは、繰り返し可能で信頼性の高い結果を提供する堅牢で信頼性の高いツールです。その高速プロセスと幅広いプロセスオプションにより、ユーザーは希望する製品を素早く正確にエッチングできます。このマシンは、最も複雑なFEOL構造まで、横界絶縁やゲートカットなどのローエンド製品の範囲を処理するように設計されています。LAM RESEARCH 4520 Asherは、包括的なレシピ開発とモニタリングを含む包括的なプロセスサポートと、完全なオンボードスキャンおよび診断機能を提供します。さらに、3Dイメージング機能などの追加機能や、オートネーミング機能やトラッキング機能などのオートメーション機能も含まれています。結論として、4520 Asherは、エッチング、薄膜成膜、および微細加工製品の要件の広い範囲を満たすことができる強力で信頼性の高いエッチングおよび薄膜成膜ツールです。この資産は、再現性と信頼性の高い結果を提供するように設計されており、幅広い生産環境に適しています。