中古 LAM RESEARCH 4520 #9167744 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9167744
Oxide etchers, 8"
With auto load tape
Tool type: R/B 4520
Bulkhead
Short frame
Indexer type:
Send: Standard
Receive: SAMSUNG (SW2-Mco5086)
Control system
Envision
Remote AC box, P/N: 685-029442-031
ADVANCED ENERGY PDW-2200 Generator
Autotune
Ceramic ESC
Clamped system: ESC
Upgraded variable gap: Optical
Monochrometer: Dual
Dual monochrometer: Single
Upgraded load station
AC Box, P/N: 853-017200-002
Orbital (Extend)
MFC #1 / UFC-8160, Ar / 1 slm
MFC #2 / CF4 / 100 sccm
MFC #3 / CF3 / 50 sccm
MFC #4 / N2 / 200 sccm
MFC #5 / OZ / 30 sccm
MFC #6 / Ar / 200 sccm
Helium cooling: V90, V92
Connectors: Plastic type
Heartbeat PCB, P/N: 810-017012-002
Bulkhead / Ballroom components
Covers
Indexers
Load station
ELL
Gap drive system
Chamber
XLL
Gas box
AC / DC Box
Control enclosure
Generator cart / On board
Upper and lower match enclosure
Pressure control
Operating system
PLC and Signal tower: 3-Colors.
LAM RESEARCH 4520は、技術プロセス用の堅牢で信頼性の高い高度な原子炉エッチャー/アッシャーです。高性能エッチングとディープリアクティブイオンエッチング（RIE）を提供する革新的な設計により、ディープトレンチエッチング、デュアルダマシンエッチング、コンタクトホールエッチングなど、さまざまなエッチング処理に最適です。エッチャー/アッシャーはモジュラー設計、複数のプロセスチャンバー、高い柔軟性を備えており、ユーザーは追加のシステム再設計なしでウェーハリング統合プロセスを拡張できます。コンパクトなフットプリントを備えているため、ほとんどのクリーンルーム構成に簡単に取り付けることができます。エッチャー/アッシャーには、精密プロセス制御機能とインテリジェントなハードウェア機能が搭載されており、厳格なプロセスを効果的に自動化します。デュアルラン機能をサポートし、ロードロッククローニングにより熱予算を最小限に抑え、長時間の実行を可能にします。4520のガス制御ユニットは、診断および分析ソフトウェアのフルレンジと統合されており、正確な温度および圧力レギュレーションを提供します。それは熱くされたラインおよび電極と設計される高度の、強力な制御システムおよび装置の高い信頼性を保障する自己診断誤差システムが装備されています。LAM LAM RESEARCH 4520のプラズマ源には、高い動作効率と高いプラズマ密度を備えた最先端の電源が搭載されています。それはエッチング工程で高い選択性に達することができ、パターン化されたマスクのプロファイルを保持します。この原子炉は、エッチングの均一性と優れたステップカバレッジを提供します。LAM 4520は、エッチングまたはアッシングプロセスを完成させる高度なエッチャー/アッシャーです。ユーザーに完全な精密制御と自動化、柔軟な統合プロセスと高い信頼性を提供し、最適なウェーハ処理性能を実現します。
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