中古 LAM RESEARCH 4520 #9145859 を販売中
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LAM RESEARCH 4520エッチャー/アッシャーは、産業用に適した高度な加工装置です。単一の工程チャンバ内に様々な材料をエッチング、平面化、アッシングすることができ、生産スループットの向上とプロセスの柔軟性の向上を可能にします。4520は2400mmウェーハキャリアを搭載し、化学的および乾燥処理能力を備えています。化学処理用には、IPA、 KOH、 TMAHなど様々な液体から選択でき、乾燥処理用のLAM RESEARCH 4520はN2、 O2で使用できます。4520は、ユーザーがコンピュータからプロセスパラメータを制御することを可能にするモジュラー制御装置（MCS）で構築されています。これにより、高度なプロセスの最適化が可能になり、手動による介入の必要性が軽減されます。LAM RESEARCH 4520は、人員を保護するために設計された高度な安全機能も備えています。プレッシャーリミテッドチャンバー（PLC）システムを搭載しており、チャンバー内の過圧状態を防ぎ、チャンバー内の熱の蓄積を防ぎ、火災のリスクを低減します。4520はまた、彼らが手から出る前に、ツール内の漏れを検出するように設計されている自動リーク検出機を備えています。性能面では、LAM RESEARCH 4520は、20本の連続ウェーハに比べて± 5％以内の幅広いエッチング速度と再現性を実現しています。小容量・大容量の生産に適しており、100mm〜200mmの径のウエハー加工に使用できます。また、故障（MTBF）レートの間の平均時間が長いため、継続的で途切れることのない運転に最適です。全体として、4520エッチャー/アッシャーは、エッチング、平面化、および幅広い材料のアッシングが可能な高性能で産業用グレードの加工装置です。その能力は、大量生産に適しており、高度な安全機能により、人員の安全を確保します。
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