中古 LAM RESEARCH 4520 #9145513 を販売中

LAM RESEARCH 4520は、半導体デバイスの製造用に設計された堅牢なプラズマエッチャー/アッシャーです。この装置には、単一のチャンバーが装備されており、効率的で繰り返し可能なエッチングプロセスを可能にします。プロセスチャンバーは、ダイヤモンドメタルハイブリッドシールド設計を備えており、低消費電力と高出力の両方のアプリケーションが可能です。4520には、プラズマ電力、温度、圧力などのパラメータを調整して保存できるデジタルコントローラがあります。このエッチャーは、イーサネット経由で接続されたPCを介して制御され、ユーザーフレンドリーなプログラミングとオンボードレシピ開発を可能にします。安全機能の追加として、LAM RESEARCH 4520は、アラームがトリガーされたときにユニットをリモートでシャットダウンできる統合安全システムを備えています。4520には、リモート診断ツール、不活性ガス循環マシン、自動ウェーハ搬送ツールなど、エッチングプロセスを改善するためのさまざまなアクセサリがあります。さらに、このアセットにはエンドポイント検出モデルが自動化されており、一貫性のあるウェーハ処理と再現性のある結果を保証します。LAM RESEARCH 4520は、エッチングにハロゲンまたは窒素ベースのプラズマ化学を使用しています。ポリマー、SiO2、 Si3N4、 PECVD層、金属層など、エッチング可能な材料を幅広く取り揃えています。装置はまた、毎分1000アングストロームまでの速度で銅をエッチングすることができます。エッチング機能に加えて、4520は高アスペクト比と異方性エッチングにも使用できます。また、バックサイドラッピングとトレンチ機能を備えており、デバイス処理の改善に使用できます。全体として、LAM RESEARCH 4520は柔軟で信頼性の高いエッチャー/アッシャーシステムであり、最高品質の半導体デバイスを製造するための最適な選択肢です。このユニットは堅牢でユーザーフレンドリーで、繰り返し可能で一貫性のある結果を保証するため、大量生産アプリケーションに最適です。