中古 LAM RESEARCH 4520 #9029521 を販売中

LAM RESEARCH 4520は最先端のエッチャーとアッシャーです。これは、製造業者がプロセスを正確に制御できるようにする一連の高度なエッチングおよびアッシュツールの一部です。4520は乾燥したポジティブエッチング装置で、ガス駆動のプラズマ源によって材料が除去されることを意味します。特徴、深さ、表面仕上げを精密に制御し、幅広い素材において高精度で高精度な特徴を生み出すことができます。LAM RESEARCH 4520は、プロセスの大きな柔軟性を可能にするモジュラー設計を備えています。化学/機械研磨（CMP）、マスキング/アンマスキング、マイクロストラクチャリング、急速熱処理（RTP）など、幅広いエッチングおよびアッシング用途に設定できます。また、さまざまな基板形状やサイズを加工することができ、複雑なデバイスの製造におけるプロセスの均一性を可能にします。4520はプロセスの時間、温度および圧力を含むすべての要因の精密な制御を可能にする統合されたプロセス制御システムを特色にします。これにより、製造工程で高い品質を達成することができ、欠陥の低減に役立ちます。また、マルチゾーンHe -Neレーザー干渉計を備えており、基板位置の正確な測定が可能です。LAM RESEARCH 4520には、必要に応じてプロセスを停止するフェイルセーフマシンなどの高度な安全機能も含まれています。このツールには、プロセスパラメータやゾーンをチェックするためのリアルタイムイメージングなど、さまざまな診断機能も含まれています。これは、プロセスの均一性と再現性を確保するのに役立ちます。結論として、4520は高度なエッチャーとアッシャーであり、メーカーにエッチングと灰プロセスを正確に制御することができます。モジュラー設計と高度なプロセス制御アセットにより、複雑で高品質なデバイスを生産することができます。また、診断機能と安全機能を備えており、生産プロセスで一貫した品質を保証します。