中古 LAM RESEARCH 4520 #131594 を販売中

LAM RESEARCH 4520エッチャー/アッシャーは、材料の層を堆積および除去し、片面と両面の両方で非常に正確なパターンを作成するように設計された高性能、多目的エッチング/アッシュシステムです。金属、誘電体、ポリマー、セラミックスなど、幅広い素材のエッチングとアッシングが可能です。4520は、エッチング/アッシュモジュール、ソース制御、プレクリーンチャンバー、ポストクリーンチャンバーなど、複数のプロセスチャンバーで構成されています。エッチング/アッシュモジュールには、反応性化学ビームが装備されています。動力を与えられたビームの操縦によって運転されるこのビームは複数の角度および深さから基質に向けられます。これにより、高い生産速度でウェーハからの層を制御し、正確に除去することができます。ソース制御モジュールは、エッチング/アッシュモジュールに異なる組み合わせと濃度のガス混合物の流れを提供することができ、調整可能なリモートチャンバーです。これにより、エッチング/アッシュプロセスを詳細に制御できます。プレクリーンチャンバーは、エッチング/アッシュモジュールに入る前に基板から残留物を除去するために使用されます。このチャンバーは、ウェーハが処理前にきれいであることを確認するために、化学的、高温、および機械的プロセスの組み合わせを使用しています。ポストクリーンチャンバーは、エッチング/アッシュモジュールに残された残留物を除去するためにも使用されます。このトラップチャンバーは一連のフィルタを使用して、エッチング/アッシュモジュールに残っているすべての粒子状物質または残留物がウェーハを終了する前に除去されるようにします。LAM RESEARCH 4520は、適応可能で正確で信頼性の高いエッチング/アッシュシステムです。これは、強力なビームステアリングとビームの正確な多方向および深度制御を備えています。その複数のプロセスチャンバーは、使用される化学物質を正確に制御し、前処理と後処理をクリーンにします。これにより、4520は高効率で精密なエッチング/アッシュシステムになります。