中古 LAM RESEARCH 4520 XLE #9188552 を販売中

LAM RESEARCH 4520 XLEは、研究室や生産施設で使用するために設計された高性能エッチングまたはアッシング装置です。高度なデュアルプレート駆動装置により、低温でのエッチングに優れた精度、精度、再現性を提供します。極端な低温エッチング機能と可変レートエッチング機能を兼ね備えているため、研究および生産用途の基板エッチングに最適です。直感的なユーザーインターフェイスにより、正確なプログラム設定とシステム監視が可能になり、統合されたリアルタイム窒素（N2）制御ユニットはプロセスの再現性を保証します。XLE独自の制御装置とマルチレベルのプラズマ制御アルゴリズムにより、精密なエッチング制御が可能です。その複数のチャッキングシステムは、エッチング中の基板の精密で微細なアライメントを提供します。XLEには複数のテストスタンドオプションがあり、ユーザーはさまざまな基板上でエッチングまたはアッシングプロセスを実行するようにツールを構成できます。統合されたデータ収集および監視資産により、ユーザーはエッチング処理中に再現可能な条件を確保でき、アーク検出モデルはエッチング中の安全性と品質管理を保証します。デュアルプレート駆動装置に加えて、XLEはパフォーマンスを最大化するいくつかの追加機能も備えています。モジュラー設計により、既存のシステムに簡単に統合でき、統合された真空制御システムにより、チャンバー内の正確な圧力と流れが保証されます。XLEには高出力赤外線イメージングユニットが装備されており、プロセス全体で正確な温度制御が可能です。さらに、XLEは、チャンバー内の状態を監視するためのリモート診断マシンを提供しています。4520 XLEは、優れた精度、精度、再現性を提供する高度なエッチングおよびアッシング機器です。その高度なデュアルプレート駆動ツールは、精密なエッチング制御を可能にし、統合されたリアルタイム窒素制御アセットは、プロセスの再現性を保証します。モジュラー設計により、既存のシステムに簡単に統合でき、赤外線画像およびアーク検出システムにより、正確で安全なエッチングが可能です。遠隔診断モデルは部屋の状態の実時間監視を提供し、精密な制御を可能にします。