中古 LAM RESEARCH 4520 XLE #9173004 を販売中

LAM RESEARCH 4520 XLEは、高度なロジックデバイスを処理するために特別に設計されたプレミアムエッチングデュアルマグネトロンエッチャー/アッシャーです。このシステムは、バッチプロセスまたは半連続処理の2つの処理構成オプションを提供します。このマシンは、高度なデバイスで完全にエッチングされたレイヤーと部分的にエッチングされたレイヤーの両方を処理するために設計されています。エッチャーのバッチプロセスは、高度なデバイス処理に非常に適しており、優れた均一性、原子移動性、および所望の結果に対する完全なプロセス制御を提供します。このシステムは、パルス特性の優れた自動化、パルス化、デュアルマグネトロンエッチャー、およびアッシャーで構成されており、所望の結果を確実にするための調整可能なタイムベース構成を含む、優れたパルス特性と優れた均一性を提供します。4520 XLEには、高度なウェーハカセットも含まれており、処理中にウェーハに便利なレベルのアクセスを提供し、より効率的でメンテナンスが容易になります。この機械は、他の産業用エッチングシステムと比較して、優れたプロセス再現性と均一性、およびプロセス歩留まりの向上を提供する、非常に信頼性の高い設計となっています。LAM RESEARCH 4520 XLEも高度に設定可能です。最先端の機能を搭載し、エッチング速度、圧力と極性、選択性、スループットなど、さまざまなユーザーが選択可能なプロセスパラメータを提供します。機械は速く、容易な維持のために設計され、維持用具および交換部品の配列を収容できます。さらに、4520 XLEには高度なセキュリティ機能が搭載されており、ユーザーデータが維持され安全であることを保証します。LAM RESEARCH 4520 XLEは、高度なデバイス処理プロジェクトに最適です。その信頼性の高い性能、優れた均一性、プロセス制御オプション、および完全にエッチングされたレイヤーと部分的にエッチングされたレイヤーの両方を処理する能力により、理想的なソリューションとなります。