中古 LAM RESEARCH 4520 XLE #9172983 を販売中

LAM RESEARCH 4520 XLEは非常に信頼性の高いアッシャー/エッチング装置です。このシステムは、半導体製造、医療機器部品、自動車センサー、光学部品などの用途に最適です。4520 XLEは、柔軟性と複数のプロセス領域をカバーする機能の両方を提供します。LAM RESEARCH 4520 XLEは、シングルウェーハ、中型バッチ、および大面積プロセスレシピを可能にする、控えめでオープンなアーキテクチャ設計でユーザーフレンドリーなエクスペリエンスを提供します。このユニットはマルチチャンバー動作を備えており、ユーザーはアッシング、in-situ計測、およびその他のプロセスを積極的に切り替えることができます。また、設定が簡単な電気シミュレータプラットフォームを備えているため、高効率で正確です。4520 XLEは、インラインウェットエッチングプロセスにより優れた生産性を提供し、バッチ処理用に1カセットあたり最大8ウェーハを処理することができます。このツールは、独自の統合スキャンアライナー資産で100％の使用率に達することができ、エッチング面を継続的に監視およびクリーニングすることができます。このモデルには、事前に計画されたチャンバコンポーネントレイアウトも含まれており、チャンバアクセスが容易になります。LAM RESEARCH 4520 XLEは信頼性が高く、PVD堆積セラミックコーティングにより長期的な運用寿命を提供します。このコーティングは耐食性があり、過酷な化学物質への長い露出の影響を受けません。また、ウェーハロードロックとチラー気密ピアスシステムを自動化し、偶発的なインクルージョンによるチャンバー拒否のリスクを低減します。さらに、4520 XLEには統合された診断ユニットがあり、リアルタイムのパフォーマンス分析とプロセス障害解析を提供します。さらに、このマシンはモジュラー設計と強力なアナリティクススイートを備えており、ユーザーはツールのパフォーマンスとプロセスの傾向を構成および監視することができます。統合された分析プラットフォームは、リアルタイムでプロセスと機器のデータの完全な範囲を提供します。結論として、LAM RESEARCH 4520 XLEは、優れたプロセス柔軟性と生産性を提供する信頼性の高いアッシャー/エッチング資産です。このモデルは、モジュール設計、高度な診断、および強力な分析プラットフォームを備えており、ユーザーは機器を正確かつ効果的に監視および構成することができます。このシステムは、半導体製造、医療機器部品、自動車センサー、光学部品など、さまざまな用途に最適です。