中古 LAM RESEARCH 4520 XL #9374770 を販売中

LAM RESEARCH 4520 XLは、高度な誘電エッチングおよび表面レベルのウェーハ洗浄に使用されるエッチング/灰の装置です。これは、比類のない精度、速度、再現性で高精度のエッチングおよび洗浄プロセスを実行するように設計されています。このシステムは、処理中のウェーハの高精度かつ一貫したアライメントを保証するために、デュアル摩擦駆動の垂直線形ステージを備えています。エッチャー/アッシャーには、信頼性の高いプロセスデータ分析と制御を提供する光学ユニットが装備されています。また、LAM RESEARCH 4520XLは複数のウェーハを同時に処理できるため、大量生産に最適です。エッチャー/アッシャーには、水素ベースのプラズマ発生器が装備されており、酸素ベースのエッチングまたは灰の操作を行うことができます。この発電機には静電チャック（ESC）が取り付けられており、ウェーハを保持して正確に配置し、均一なエッチング品質を確保することができます。さらに、高精度なエッチング機能を提供するEnhanced Dielectric Etching （EDE）も搭載しています。さらに、この発電機には基板ラジアルデリバリステーション（SRDS）が装備されており、最適かつ一貫したウェーハ処理が可能です。このウェーハは、1時間あたり最大30本のウェーハを介して処理することができ、継続的に監視された水晶温度にさらされ、高品質の結果が得られます。4520 XLは、最も特定のプロセス要求に対して優れたパフォーマンスを提供するように設計されています。これは、トータルプロセスシーケンス作成機能とオンボード、インテリジェントなプロセス制御を備えています。また、比類のない診断機能を備えており、ユーザーはツールのパフォーマンスを最大限に引き出すことができます。このエッチャー/アッシャーは、バッチプロセス管理システムやプロセスキューと容易に統合することができます。この資産には、ユーザーがウェーハまたはロットごとの方法でレシピを作成および管理するのに役立つ包括的なレシピ作成および管理ツールも装備されています。4520XLは信頼性が高く、正確で信頼性の高いエッチング/灰モデルであり、競争力のある価格で最適な効率を提供しながら、最高品質の結果を提供することができます。半導体、ソーラー、ハードディスクドライブ製造など、さまざまな業界の高精度、大量生産アプリケーションに最適です。