中古 LAM RESEARCH 4520 XL #293625775 を販売中

LAM RESEARCH 4520 XLは、高度なマイクロエレクトロニクス材料の精密かつ再現可能な処理を可能にするように設計された最先端のエッチャーおよびアッシャーです。圧電結晶から化合物半導体まで、さまざまな材料やプロセスに適しています。LAM RESEARCH 4520XLは、最大200mmまでの6インチまたは8インチのウェーハで高速かつ効率的な処理を提供し、ウェーハの破損がなく、生産性や再現性を犠牲にすることなく超高スループットを実現します。4520 XLは、高度なエッチングとアッシング技術を使用して、堅牢で反復可能な処理を可能にします。その高精度制御システムは、変動を最小限に抑え、優れたエッチングまたはアッシング性能を決定するパラメータを正確に制御し、反復可能な結果を保証します。4520XLは完全にプログラム可能で、プロセス要件に合わせてパラメータを簡単に設定、調整、微調整できます。LAM RESEARCH 4520 XLは、高出力密度プラズマ源を備えており、エッチングおよびアッシング用途の柔軟性を高めています。また、最大24kWのピーク電力レベル、0-1000Vソース電圧範囲、および0-10Aソース電流範囲を提供できる可変周波数電源も備えています。このパワーレンジにより、素材が難しい場合でも、高速で効率的なエッチングとアッシングが可能です。LAM RESEARCH 4520XLは、サンプル位置精度を維持した高精度の位置センサ装置を搭載し、再現性の高い結果を提供します。また、効率的なガス配送システムと自動リーク検出機を備えた包括的なガス管理ユニットが含まれています。4520 XLには、ユーザーの介入を最小限に抑える複数のクリーンサイクルを可能にする自動クリーニングツールも装備されています。また、クオーツヒーター、ウェーハ温度センサー、プログラマブルなウェーハ回転などのオプション機能により、高品質な洗浄性能を実現しています。4520XLは、明確でわかりやすいオンボードディスプレイで、操作とメンテナンスが簡単です。これは、信頼性が高く効率的なエッチャーとアッシャーであるように設計されており、大量生産だけでなく、より複雑な研究開発プロセスにも最適です。