中古 LAM RESEARCH 4500iB #9226623 を販売中

LAM RESEARCH 4500iB etcher/asherは、半導体産業のエッチングおよびアッシング工程に使用される高性能ツールです。大型ダイの高速加工が可能で、再現性と精度に優れています。4500iBは最先端の技術を利用して、最も効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いパフォーマンスを提供します。LAM RESEARCH 4500iBは、高周波（35MHz）のRF発生器と高速イオン通電および輸送用に設計された高真空室を備えた電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマエッチングプロセスを採用しています。それにまた乾燥した酸化プロセスを提供する上ローディングの熱壁炉があります。4500iBは、高いエッチングレートを処理するように設計されており、エッチングパラメータを正確に制御しながら、ウェハ全体にわたって優れた均一性を提供します。LAM RESEARCH 4500iBには可変電源が搭載されており、ユーザーはさまざまなウェハアプリケーションでエッチング処理を調整できます。エッチングやアッシングに加えて、4500iBには冷却ガスシステム、動的温度制御、統合された自動検出など、いくつかの機能があります。自動検出システムは、プロセスパラメータをリアルタイムに検出して記録し、エッチング処理を詳細に調べます。このシステムは、エッチング結果を確認し、動作中に発生する可能性のある問題のトラブルシューティングに特に役立ちます。LAM RESEARCH 4500iBは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと自己診断、およびLAM RESEARCHテクニカルサポートチームの支援により、非常にユーザーフレンドリーです。これは、繰り返し可能な性能を提供するだけでなく、様々な堆積バッチ上のプロセスの一貫性を維持するのに役立ちますように設計されています。全体として、4500iBエッチャー/アッシャーは、半導体加工のための強力で汎用性の高いツールです。エッチングとアッシングのあらゆるニーズに対応する幅広い機能を提供し、優れたエッチング品質と精度を競争力のある価格で提供することができます。