中古 LAM RESEARCH 4500B #9226626 を販売中

LAM RESEARCH 4500B
ID: 9226626
ウェーハサイズ: 6"
Oxide etcher, 6".
LAM RESEARCH 4500Bエッチャー/アッシャーは、半導体チップおよび先端材料加工の正確かつ効率的な製造に不可欠なツールです。本番環境および設計環境でのプロフェッショナル向けに設計されており、高度な自動化、高度なプロセス監視、パフォーマンスデータのフィードバック機能を備えています。4500Bは、エッチングガス、フッ化水素酸、フォトレジスト、化学薬品、溶剤およびスラリー媒体を操作する能力を備えた高度なエッチングおよびアッシングプロセスが可能です。その高い汎用性により、ダマシン、ディープトレンチエッチング、ローカルアッシングなどの非均一エッチングおよびアッシングプロセスを実装することができ、反復可能な結果でタイトなプロセス制御を維持します。このユニットには、内蔵の冷却システムやエッチングおよびアッシングプロセスに最適化されたガス流量パターンなど、生産を合理化するための多くの機能が含まれています。また、オペレータ調整可能なガス供給用のガスラック、温度制御、およびサンプルの簡単な積み降ろしのためのカスタマイズ可能なワークステーションを備えています。内蔵のアナライザモジュールは、プロセスパラメータのリアルタイム監視とフィードバックを可能にし、一貫して正確な結果を保証します。LAM RESEARCH 4500Bは、ユニットとその環境の両方の安全性を確保する高度な保護メカニズムで、長期的で信頼性の高い動作を提供するように設計されています。ステンレス製とアルミニウム製の構造により、堅牢な耐久性が得られ、独自の冷却システムにより、さまざまなレベルのワークロードで安定したパフォーマンスが保証されます。このユニットは、単層および多層膜、セラミックおよび金属被覆膜、およびスチールキャリア基板の両方を含む、さまざまな基板と互換性があります。また、使いやすいソフトウェアインターフェイスを介した統合プロセス制御もサポートしているため、オペレータはプロセスパラメータを迅速かつ正確に設定および調整できます。結論として、4500Bは高度な材料のエッチングとアッシングのための強力で信頼性の高いオプションです。包括的な機能と包括的な保護プロトコルにより、本番環境に理想的なツールとなり、厳格なプロセス制御と一貫して正確な結果を得ることができます。
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