中古 LAM RESEARCH 4500 #9311439 を販売中

LAM RESEARCH 4500エッチング/アッシュ装置は、シングルプロセスステップとラインオブサイトウェハトラッキングにより、高品質のウェーハを製造することができる、完全に自動化された超高精度のエッチング/アッシュシステムです。このユニットは、優れた柔軟性を提供するように設計されており、1つのプロセスで最大4つの処理ステップを完了できます。この機械には、エッチングされた強磁性材料源（EFMS）と、化学蒸着（CVD）や原子層蒸着（ALD）など、さまざまな処理を行う高軸内板を含む電気光学チャンバーがそれぞれ2つあります。30°Fまでの温度で、標準、高密度、階層技術を含むレシピベースのウェーハ処理をサポートします。このツールには、エッチング時間、温度、圧力を迅速かつ正確に制御することができる、化学ディスペンサーと高速動作制御ノブを備えたエンドエフェクターもあります。4500エッチング/アッシュ資産は、シングルプロセッサ、マイクロスケールエッチツール、両面光学制御ウェハハンドリングのユニークな組み合わせを利用して、優れた精度と再現性を提供します。また、ウェーハ間の高速転送速度とフレキシブルなフロントエンドプラットフォームにより、効率的かつ正確な処理が可能です。この装置の高精度は、寸法安定性、均一性の平準化、熱管理、センサ精度、およびプロセス制御に焦点を当てた結果です。このシステムは、再現可能なプロセスと特殊なプロセスの両方において、優れた一貫性と再現性を必要とするエッチング/アッシングプロセスに最適です。シングルプロセスの再現性を備えた高品質で高精度なウェーハ製品を製造することが可能で、高精度とモニタリングが必要なアプリケーションに最適です。