中古 LAM RESEARCH 4500 #9298520 を販売中

LAM RESEARCH 4500は、LAM RESEARCH Corporationの先進的なプラズマエッチング装置です。トレンチエッチング、ファインパターニング、ゲートエッチング、高アスペクト比エッチングなどの高度なエッチングに使用される技術的に高度な高速エッチングシステムです。このユニットは、アプリケーションの特定のニーズに合わせた革新的な技術を使用しています。高い生産性、柔軟性、信頼性、使いやすさを備えています。このマシンは、さまざまな基板や材料をサポートする高度なエッチングチャンバーを備えています。プロセスの均一性を最適化し、優れたウェハ品質を提供します。チャンバーは、高温および低温のエッチング処理に対応できる多目的で調整可能なプラットフォームを提供するように設計されています。このチャンバーは、O2、 CO2、 N2、 Cl2などのさまざまなガスもサポートしているため、幅広い材料に最適です。このツールには、エッチング性能とスループットを最適化する多くの先進技術が搭載されています。高性能な電子サイクロトロン共鳴（ECR）イオン源とイオンビームの焦点を使用して、エッチプロファイル、サイドウォール角度、線幅を制御します。また、統合されたin-situプロセス監視、自動プロセスチューニングと制御、および正確なフォルト検出とプロセス最適化のためのダイレクトサンプリングも備えています。この資産は、統合されたWindowsベースのコントローラを搭載しており、産業用オートメーションモデルに接続することができます。包括的なドキュメンテーションパッケージとプロセスおよび環境モニタからのリアルタイムのフィードバックによってサポートされています。包括的なユーザーズマニュアルには、インストール、メンテナンス、サービス手順、操作手順、結果分析、トラブルシューティングが含まれています。4500は、最も要求の厳しいエッチング用途で優れた性能を提供するように設計されています。これは、最も費用対効果の高いリソースで可能な限り最高の製品収量を生産するための理想的なツールです。LAM RESEARCH 4500は、高性能エッチング装置をお探しのお客様に比類のない性能と優れた結果を提供します。