中古 LAM RESEARCH 4500 #9293553 を販売中

LAM RESEARCH 4500は、費用対効果の高い半導体加工のために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。高度なエッチングおよびアッシュ操作のためのこの費用対効果の高いソリューションは、最も要求の厳しいプロセスアプリケーションに最高の信頼性とスループットを提供します。この機器は、低コストと高性能の最適なバランスを提供するように設計されています。4500はメインフレーム、電動ガスボックス、さまざまな顧客のニーズに合わせてさまざまなオプションで構成されています。メインフレームには強力な2段エッチングチャンバーが装備されており、エッチングプロセスは複雑な表面で望ましい深さと均一性を実現します。電動ガスボックスには個々のマスフローコントローラが装備されており、システムを使用するたびにエッチング処理を微調整することができます。LAM LAM RESEARCH 4500は、モータードライブガスボックス、高精度抵抗加熱、静電チャック（ECC）技術など、さまざまな先進部品で構成されています。ECCユニットは、エッチング中にウェーハシートを連続的にクランプすることで、サンプル損傷のリスクを低減し、生産全体を改善するのに役立ちます。さらに、低プレゼンスチャンバー設計により、エッチング前に処理スペースから汚染物質を除去することにより、潜在的なサンプル汚染を低減します。4500はまた真空機械および制御箱を含んでいます、両方は用具をきちんと作動させるために必要です。真空アセットはウェーハを確実に保持し、コントロールボックスを使用すると、さまざまなパラメータ設定を使用してモデルを制御できます。LAM RESEARCH 4500は、オプションのガスボックスインレットシャッター、調整可能な土台、リアルタイムプロセス情報を監視するための質量分析計など、さまざまな機能を備えています。4500は、高度なエッチングと灰の操作のためのコストとパフォーマンスの両方に最適な全体的な価値を提供します。低コスト設計で迅速な開発をサポートし、柔軟な設計により複雑なプロセスにも対応できます。装置の高度なコンポーネントは、信頼性の高いハイスループットシステムも保証します。これらの理由から、LAM RESEARCH 4500は、高性能で費用対効果の高いエッチング/アッシュユニットを求めるお客様に最適です。