中古 LAM RESEARCH 4500 #9226135 を販売中

LAM RESEARCH 4500は、多くのアプリケーション向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。これは、リソグラフィ、フォトレジスト除去、銅ストライピングアプリケーションで乾燥およびウェットエッチングの両方に適しています。装置には、個別の荷重/荷降ろしチャンバが含まれており、エッチングまたはアッシャー処理のために、直径8インチまでのウェーハの配列を収容することができます。4500はステンレス鋼から組み立てられ、さまざまな化学物質からの腐食に耐えることができ、エッチングまたはアッシャープロセスで発生するより高い温度に耐えることができます。LAM RESEARCH 4500の2つの主要コンポーネントは、タンクとプラテンです。タンクはタッチスクリーンによって制御される密封された部屋です。プラテンは、ウェーハがエッチングまたは剥離媒体にさらされないように配置された平らな表面です。4500は、安全で効率的なエッチングプロセスを提供するために、複数の機能を備えています。エッチング温度を調整し、最適なエッチング条件を見つけるために必要な時間を短縮する自動温度制御を備えています。また、エッチング中のオゾンや窒素酸化物の発生を抑制するための窒素パージやオゾン還元機構を備えています。このシステムには、オペレータと環境を保護するための安全機能も装備されています。それに機械的または電気故障の場合にはオペレータを保護する自動シャットダウンユニットがあります。また、プラズマエッチングプロセス中に放射される放射線から人々を保護するためにシールドで設計されています。LAM RESEARCH 4500は、多くのプロセスやメディアを使用してエッチングやアッシングを行うことができるため、汎用性の高いエッチャー/アッシャーツールです。金属、セラミックス、半導体材料など様々な基材をエッチングし、ガスや液体などのエッチング媒体や灰媒体でエッチングするのに適しています。このアセットは、プラズマまたはイオンビームでエッチングするためにも使用できます。4500は、コスト効率が高く、正確で精密なエッチングまたはアッシングプロセス用に設計されています。それは銅、アルミニウムおよび他のいろいろな材料のぬれた、乾燥したエッチングそして除去のための大きい用具です。その高度な機能と安全対策は、業界や研究室にとって理想的なエッチングモデルになります。