中古 LAM RESEARCH 4500 #9092962 を販売中

LAM RESEARCH 4500はウェットエッチング/アッシング装置で、幅広いエッチングおよびアッシング用途のニーズに対応できる汎用性と高性能な機械です。このシステムは、フォトマスクおよびレチクル製造、MEMS、および集積回路（IC）の製造に最適です。このユニットは、クローズドループ、自動化されたプロセスチャンバー、および統合された石英容器で構築されています。これにより、プロセス全体で温度、圧力、エッチング/アッシング化学物質が正確に維持されます。この洗練されたクローズドループ・プロセスは、プロセスの再現性が高いままであることを保証するのにも役立ちます。このプロセスは、お客様の正確な仕様に合わせて調整することができ、さまざまなアプリケーションに対してより高いスループット要件を満たすことができます。LAM RESEARCH 4500エッチャー/アッシャーは、プロセスの一貫性とパフォーマンスを向上させる多くの機能を備えています。エッチングガスとアッシングガスを分離した絶縁ガス配送システムと、エッチング/アッシングプロセスを正確に温度制御する液体配送機を備えています。これにより、各エッチング/アッシングサイクルが可能な限り正確で信頼性が高いため、顧客が要求する正確な結果を簡単に得ることができます。さらに、このツールはさまざまな高度な統合診断ツールを使用して、迅速かつ簡単なプロセス監視を可能にします。これは、エッチング/アッシングプロセスが正確であり続けることを保証するのに役立ちます。このアセットには高周波コイルモデルも含まれており、エッチング/アッシングプロセスに最適な結果を得るために、お客様は正確な調整を行うことができます。全体として、4500エッチャー/アッシャーは多目的で信頼性の高いエッチング/アッシング機器であり、さまざまなフォトマスクおよびレチクル加工、MEMS、およびIC製造要件に最適です。精密なプロセス制御、優れたプロセス監視、高度にカスタマイズ可能なプロセス設定を備えているため、あらゆる生産ラインに最適です。