中古 LAM RESEARCH 4420 #9198093 を販売中

LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcherは、最適な再現性、プロセス制御、およびスループットを提供するように設計された高性能ドライエッチングシステムです。高速熱制御、エッチングレート制御、現場洗浄などの高度な機能を備えています。また、複数のアプリケーションに対して自動化された操作とプロセスの柔軟性を提供します。4420はガラス、ポリイミド、半導体ウェーハなど幅広い基板加工が可能です。優れた温度、圧力、均一な流量制御を提供する高度な石英エッチング管を備えています。デュアルプラズマモード、可変周波数パワーコントロール、ディープエッチングのための長いパルス持続時間などの高度なエッチメカニズムにより、単段エッチングよりも大きなプロセス能力を発揮します。LAM RESEARCH 4420のマルチチャンバー設計により、異方性と等方性の両方のエッチングが可能です。異方性エッチングモードは、優れたエッチングレート制御を備えた3段階のエッチングプロセスを使用します。また、一貫性のあるエッチング性能を確保するために最適化されたチャンバー設計を備えています。4420はまた、高い再現性、プロセス制御、およびスループットを確保するように設計されたCFCフリー流体を備えた自動パージシステムを備えています。プロセスチャンバー全体に均一な効果的な真空システムを装備しています。さらに、LAM RESEARCH 4420は、複数のアプリケーションのレシピのデータ取得、リモート診断、プログラミングを可能にするソフトウェアによってサポートされています。また、最適なプロセス制御と品質保証を可能にするセンサーと診断機能を備えています。全体的に、4420は、均一性、再現性、およびプロセス制御を保証する高度な機能を備えた強力で費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。また、使いやすいインターフェースと包括的なカスタマーサポートにより、さまざまなアプリケーションで迅速なプロセスの柔軟性を実現します。