中古 LAM RESEARCH 4420 #9144790 を販売中

LAM RESEARCH 4420
ID: 9144790
ウェーハサイズ: 6"
Polysilicon etcher, 6".
LAM RESEARCH 4420は、幅広い材料に正確かつ正確なパターン転送を提供するように設計された高度なAsher/Etcherです。高精度の電気構造と機械構造を作成し、精度の高い製造と組立を可能にする強力なツールです。4420は、高精度で繊細な構造の複雑なエッチングに使用できる非常に均一で密集したトラックを生産することができるハイエンドプラズマ源が装備されています。また、イオンビーム電流密度が非常に高いため、高精度の回路レベルパターンのエッチング時間が非常に短くなり、製品の市場投入時間が短縮されます。LAM RESEARCH 4420はまた、3%から50ミクロンの精度と18ミクロン/秒のエッチング速度まで、非常に高い精度とエッチング速度を提供します。高精度で複雑なパターンを素早く生成できる集積回路製作などの用途に最適です。さらに、4420にはゼロビーム偏向システムが装備されており、一貫性のあるビームパスを確保し、より正確なパターン転送を可能にし、エッチングされる材料への潜在的な損傷を防ぎます。LAM RESEARCH 4420はまた、ユーザーがプロセスを制御できるようにする幅広い機能を提供します。例えば、高速スキャンエアパルス機能を使用すると、エッチング速度、エッチング速度、ビーム安定化を制御できます。一方、統合された真空システムにより、エッチングがクリーンな雰囲気で行われます。さらに、4420はウェーハや薄膜基板から厚膜基板、石英基板まで、さまざまな基板に対応できます。全体的に、LAM RESEARCH 4420は、幅広い基板で正確で正確なパターン伝達を提供するように設計された高度なAsher/Etcherです。高い精度とエッチング速度を実現し、高速スキャンエアパルス機能や統合真空システムなどの幅広い機能により、ユーザーはプロセスを高度に制御できます。4420は速く、精密なパターン移動かエッチングを要求するあらゆる適用にとって理想的です。
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