中古 LAM RESEARCH 4420 #9040757 を販売中

ID: 9040757
ウェーハサイズ: 6"
Poly etchers, 6".
LAM RESEARCH 4420は、過酷な生産および開発環境で使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。4420は完全に統合された真空とプラズマ制御を備えており、幅広い材料や基板を処理することができます。LAM RESEARCH 4420は、ウェーハローディング技術を変更して所有コストを削減できるモジュラーアーキテクチャを採用し、柔軟で拡張性の高いプラットフォームを提供します。4420 Etcher/Asherは、1回あたり最大67台のウェーハを搭載できます。また、最大25ウェーハ/ウェーハボートのロードロック容量を提供し、最大生産スループットを実現します。プラズマパラメータなどの調整可能なプロセスパラメータにより、ユーザーはプロセスを材料に合わせてエッチングまたはアッシュすることができます。また、すべての運用パラメータを分析および監視するための高度な診断制御装置も提供しています。LAM RESEARCH 4420エッチャー/アッシャーは、高度な冷却システムを使用して、プロセス結果の精度と再現性を保証します。高圧冷却とクローズドループ流量調整可能な液対ガス熱交換器を使用して、製品の温度影響を管理します。適切なプロセス動作を保証するために冷却温度のデジタル読み出しが提供され、プロセスが再現性と信頼性が確保されます。4420は産業および実験室の適用と完全に互換性があります。堅牢な設計により、信頼性と低メンテナンスコストを保証します。また、過度の温度、振動、ほこりなど、厳しい環境条件にも対応できるように設計されています。機械レベルや製品レベルの損傷を防ぐために設計された自動シャットオフユニットなど、多くの安全機能があります。全体として、LAM RESEARCH 4420は、生産および開発環境で使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。その高精度プロセス制御と冷却ツールは、信頼性と再現性の高い動作を保証します。厳しい環境条件に対応し、柔軟でスケーラブルなプラットフォームを提供します。洗練された信頼性の高いエッチングとアッシングのソリューションをお探しの方に最適です。
まだレビューはありません