中古 LAM RESEARCH 4420 XL #9399006 を販売中

LAM RESEARCH 4420 XLエッチャー/アッシャーは、多くのエッチングおよびアッシングのニーズに対応する低コストのソリューションです。半導体・MEMS業界でエッチング・アッシング加工に広く使用されています。最大圧力100 Torrで最大6インチ（150 mm）のウェーハ処理が可能です。エッチング速度と精度は、エッチングが可能な低コストのシステムや、ウエハあたり0。003インチ（0。08mm） ±正規化されたエンドポイント精度の300mm/minの高速化においても非常に印象的です。LAM RESEARCH 4420XLはモジュラーユニットであり、ガス源、ガス供給システム、チャンバーなどの特定の部品を選択することで、ユーザーの特定のニーズに合わせて調整することができます。この機械は、SF6、 CF4、 O2、 CF4/O2、 Ar、 HBrなどの幅広いガスでエッチングとアッシングが可能です。また、RIE、マグネトロン、OBIRCHなどの高度なエッチング技術も備えており、ユーザーは特定のプロセスのニーズに合わせてツールを調整することができます。4420 XLには、AutotuningやSubstrate Matchingなどの高度なプロセス制御ツールも含まれており、プロセスレシピを最適化するのに役立ちます。このアセットには、エッチングおよび灰プロセスを監視できる2つの診断ツールも含まれています。4420XLには、特定の条件が満たされていない場合にウェーハが処理されないようにするRFインターロックモデルなど、多くの安全機能もあります。さらに、装置には緊急停止ボタンと内蔵の真空パワーコントロールモジュールが装備されており、システムの準備が整っていない限りプロセスが実行されないようにします。全体的に、LAM RESEARCH 4420 XLは優れたエッチャー/アッシャーユニットであり、多くのエッチングおよびアッシングのニーズに対応する信頼性と手頃な価格のオプションです。